日本富士FUD-1 Model-53 多成分濃度計（）技術參數(shù)

日本富士FUJI多成分濃度計（）

FUD-1 Model-53
產(chǎn)品簡介
保養(yǎng)性和高精度內線測量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。

日本富士FUJI多成分濃度計（）

內置FUD-1 Model-53導電率計

多成分濃度計的特點

實時3成分中的2成分濃度計側可能
標準配備模擬DC4～20mA（2系統(tǒng)）及數(shù)字RS232C
標準配備測量錯誤輸出和警報輸出
標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設置可能
采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒有影響

優(yōu)點，優(yōu)點

高精度連續(xù)計測可能
無需定期調整、校對，無需維護
設置時的各種調整等不需要也容易設置
由于實時輸出的工程的反饋也容易

用途

CMP工序CMPー及氧化劑濃度管理等
清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3?HF+H2SiF6等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（TMAH+注冊?TMAH+Si等）

規(guī)格

型式FUD-1 Model-53
轉換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度、溫度、導電率
顯示：LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導電率/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC4～20mA：2系統(tǒng)(可對濃度值自由設定)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、音速、溫度、導電率、錯誤代碼)
警報上下限測量異常：2系統(tǒng)
電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
結構：面板掛載型（根據(jù)DIN標準）
環(huán)境溫度轉換器0～50℃
RH85%以下(未結露)
功能輸出范圍設定功能、警報輸出設定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移及增益設定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能、溫度時常數(shù)修正
選項溫度輸出(DC4～20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
通道（檢量線）大7ch
適配發(fā)信器例子SA-20S29+導電率計、SA-20S27+導電率計

形式發(fā)信器
SA-20S29+導電率計
SA-20S27+導電率計
振動元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
測量元件熱敏電阻
測量液溫度0～100℃0～80℃
構造流體
接液部材PFA/PFA涂層PFA
接縫3/4英尺（可更改）3/4英尺（可更改）
耐壓0.3MPa 0.3MPa
流量5l/min（推薦）5l/min（推薦）
重量2.5kg 2.5kg
電纜電纜6m電纜6m
環(huán)境溫度5～45℃5～45℃

如有需求，請見：  日本富士FUJI濃度計